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精密的MRAM芯片制造系統(tǒng)

2019-12-24 10:17:05

MRAM是一種非常復(fù)雜的薄膜多層堆疊,由10多種不同材料和超過30層以上的薄膜與堆疊組成,部分薄膜層的厚度僅達(dá)數(shù)埃,比人類的發(fā)絲還要薄500000倍,相近于一顆原子的大小,如何控制這些薄膜層的厚度、沉積均勻性、介面品質(zhì)等參數(shù)是關(guān)鍵所在。因?yàn)樵谠訉蛹?jí),任何極小的缺陷都會(huì)影響裝置效能,所以這些新型存儲(chǔ)器要想實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn),必須在硅上沉積和整合新興材料能力方面取得實(shí)質(zhì)突破。
 
作為高密度存儲(chǔ)器應(yīng)用的候選技術(shù),PCRAM和ReRAM都具有結(jié)構(gòu)堆疊,包含容易受薄膜成分和劣化衰退影響的多重元素材料。以相變單元材料為例,產(chǎn)業(yè)界花了數(shù)十年的時(shí)間才發(fā)現(xiàn)具有適當(dāng)成分的鍺銻碲復(fù)合物薄膜材料,并達(dá)到最佳化的條件,而ReRAM 對(duì)存儲(chǔ)器材料的組成也非常敏感。制造設(shè)備解決方案需要提供精確的薄膜厚度、成分均衡性和介面品質(zhì)。
 
為了解決MRAM、ReRAM和PCRAM大規(guī)模量產(chǎn)面臨的挑戰(zhàn),應(yīng)用材料公司日前推出了新型Endura® Clover™ MRAM PVD平臺(tái)和Endura® Impulse™ PVD系統(tǒng),他們也是公司歷史上迄今為止推出的“最為復(fù)雜和精密的芯片制造系統(tǒng)”,并已發(fā)貨給5家MRAM芯片和8家PCRAM/ReRAM用戶。
 
說到MRAM,EVERSPIN是從飛思卡爾半導(dǎo)體公司分離出來的一家獨(dú)立公司。是全球第一家量產(chǎn)MRAM芯片的供貨商,并透過持續(xù)提升技術(shù)與擴(kuò)展MRAM產(chǎn)品組合來領(lǐng)導(dǎo)業(yè)界的發(fā)展。Everspin 的專利MRAM技術(shù)是以可沉積在標(biāo)準(zhǔn)邏輯制程上的磁性隧道結(jié) (MTJ)儲(chǔ)存單元為基礎(chǔ)。MTJ中包含了一個(gè)維持單一極性方向的固定層(fixed layer),和一個(gè)通過隧道結(jié)(tunnel barrier)與其隔離的自由層(free layer).我司作為EVERSPIN一級(jí)代理,可提供MRAM產(chǎn)品及技術(shù)解決方案.

本文關(guān)鍵詞:MRAM 

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